| 查看: 1406 | 回复: 1 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者袁星星362将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射额的WO3，在AZ 300MIF显影液中溶解脱落，衬底为SiO2/Si，有什么好方法避免吗
|
||
|
各位科研大佬们，我用磁控溅射的一层50 nm的WO3，光刻使用的是负胶工艺，负胶是AZ2035，在经过显影液AZ300MIF显影后后，较小面积的部分WO3出现溶解脱落的情况，大面积区域还在，各位大佬有类似经历吗，特向各位请教如何处理？ 不胜感激！ 祝各位大佬科研顺利，发paper顺利！  |
回复此楼» 猜你喜欢
国内的超声波分散机源头厂家，制造商、供应商都有哪些？要质量好的奥
已经有0人回复
-
读博入学申请
已经有0人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有272人回复
-
2026锡箔片推荐企业/供应商/哪家做得好/哪个品牌好？
已经有0人回复
-
【2026】氧化铜颗粒推荐供应商/哪家强/代理商,氧化铜颗粒供货商有哪些?哪家好？
已经有0人回复
-
2026年锡箔片推荐企业/供应商/哪家做得好/哪个品牌好
已经有1人回复
-
杭州精浩超声波搅拌机 —— 纳米材料搅拌 “神器”，20 分钟搞定之前 1 小时的活！
已经有1人回复
-
南方科技大学机械与能源工程系-邓辉研究员招收2026级博士生
已经有0人回复
-
2026锡制固体/锡制液体推荐企业/供应商/推荐品牌
已经有0人回复
-
2026 博士自荐-机器人机构学方向
已经有12人回复
2楼2023-12-26 07:01:11