| 查看: 1525 | 回复: 1 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者袁星星362将赠送您 10 个金币 | ||
[求助]
磁控溅射额的WO3，在AZ 300MIF显影液中溶解脱落，衬底为SiO2/Si，有什么好方法避免吗
|
||
|
各位科研大佬们，我用磁控溅射的一层50 nm的WO3，光刻使用的是负胶工艺，负胶是AZ2035，在经过显影液AZ300MIF显影后后，较小面积的部分WO3出现溶解脱落的情况，大面积区域还在，各位大佬有类似经历吗，特向各位请教如何处理？ 不胜感激！ 祝各位大佬科研顺利，发paper顺利！  |
回复此楼» 猜你喜欢
ZL-AI-WJ 大小鼠挖掘精细行为分析系统
已经有0人回复
-
ZL-AI-XW AI大小鼠悬尾精细行为分析系统
已经有0人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有233人回复
-
ZL-AI-T AI大小鼠T迷宫精细行为分析系统
已经有0人回复
-
北京信息科技大学机电工程学院硕士研究生招生线上宣讲会——8月16日
已经有110人回复
-
北京信息科技大学机电工程学院硕士研究生招生线上宣讲会-8月16日
已经有111人回复
-
ZL-037 大小鼠热传感自发节律监测系统
已经有0人回复
-
ZL-BLR-96 96通道生物节律光度测定监测系统
已经有0人回复
-
ZL-017 大小鼠转轮节律监测系统
已经有0人回复
-
ZL-037 大小鼠热传感自发节律监测系统
已经有0人回复
-
ZL-IVC-WRR 大小鼠IVC转轮节律监测系统
已经有0人回复
2楼2023-12-26 07:01:11
