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老农木

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 175.8
帖子: 52
在线: 2.9小时
虫号: 14421578
注册: 2019-03-01
专业: 半导体电子器件

[求助] 机械剥离材料光刻显影开裂

想请问一下，我是在带刻度的硅片上二维材料机械剥离，用剥离后的材料旋涂950 PMMA光刻后显影发现会在图形尖锐的地方出现开裂，想问下虫虫有没有遇到这个问题的，怎么解决的

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1楼 2021-01-28 14:30:11

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