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机械剥离材料光刻显影开裂
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 想请问一下，我是在带刻度的硅片上二维材料机械剥离，用剥离后的材料旋涂950 PMMA光刻后显影发现会在图形尖锐的地方出现开裂，想问下虫虫有没有遇到这个问题的，怎么解决的 |
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