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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 机械剥离材料光刻显影开裂
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老农木

新虫 (小有名气)

[求助] 机械剥离材料光刻显影开裂

想请问一下，我是在带刻度的硅片上二维材料机械剥离，用剥离后的材料旋涂950 PMMA光刻后显影发现会在图形尖锐的地方出现开裂，想问下虫虫有没有遇到这个问题的，怎么解决的
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1楼 2021-01-28 14:30:11
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