应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 对于EPI外延P型掺杂
41/1返回列表
查看: 1423  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

李李先森

新虫 (初入文坛)

[交流] 对于EPI外延P型掺杂 已有1人参与

请问对于半导体外延硅片，边缘性ESFQR改善，在3x flower 进气的情况下，我们是否可以考虑增加底部气流，而限制边缘恶化型，减小ZDD，从而达到边缘塌边减少，恶化值变小状况。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-01-21 11:09:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

李李先森

新虫 (初入文坛)
如果有材料学，物理学，或者半导体薄膜生长经验者，可以共同交流啊

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2021-01-21 11:12:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

廿年砍柴

木虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ESFQR和ZDD参数是12英寸wafer，我们对于调整SFQR主要根据来料形貌（rolloff or rollup ）调整外延厚度分布，厚度均一性除了气流主要受温度分布影响
赞一下 回复此楼
3楼2022-06-27 13:12:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

廿年砍柴

木虫 (初入文坛)
如果有wafersight图，比对外延前后，比较好分析，同时结合外延厚度分布
赞一下 回复此楼
4楼2022-06-27 13:14:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 李李先森 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 上海电力大学材料防护与新材料重点实验室招收调剂研究生（材料、化学、电化学，环境） +4 我爱学电池 2026-03-23 4/200 2026-03-25 00:59 by 1027_324
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +3 钢铁大炮 2026-03-24 3/150 2026-03-24 22:03 by bingxueer79
[考研] 收08调剂生 +6 komorebi69 2026-03-18 6/300 2026-03-24 19:09 by 汪！？！
[考研] 070300化学求调剂 +9 苑豆豆 2026-03-20 9/450 2026-03-24 17:15 by licg0208
[考研] 材料学硕，求调剂 6+3 糖葫芦888ll 2026-03-22 7/350 2026-03-24 17:11 by hello七七
[考博] 申博26年 +4 八6八68 2026-03-19 4/200 2026-03-24 15:49 by 小Ben呵呵
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[考研] 291求调剂 +8 hhhhxn.. 2026-03-23 8/400 2026-03-23 23:15 by peike
[考研] 一志愿陕师大生物学071000，298分，求调剂 +3 SYA！ 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:09 by macy2011
[考研] 一志愿上海交大生物与医药专硕324分，求调剂 +5 jiajunX 2026-03-22 5/250 2026-03-23 18:07 by YMU施老师
[考研] 一志愿 西北大学 ，070300化学学硕，总分287，双非一本，求调剂。 +3 晨昏线与星海 2026-03-20 3/150 2026-03-22 16:00 by ColorlessPI
[考研] 求调剂 +5 Zhangbod 2026-03-21 7/350 2026-03-22 13:13 by Zhangbod
[考研] 354求调剂 +7 Tyoumou 2026-03-18 10/500 2026-03-22 11:11 by 人来盛
[考研] 330求调剂0854 +3 assdll 2026-03-21 3/150 2026-03-21 13:01 by 搏击518
[考研] 求调剂 +6 Mqqqqqq 2026-03-19 6/300 2026-03-21 08:04 by JourneyLucky
[考研] 南昌大学材料专硕311分求调剂 +6 77chaselx 2026-03-20 6/300 2026-03-21 07:24 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华南师大 070300（化学）304分求调剂 +3 0703武芊慧雪304 2026-03-18 3/150 2026-03-21 00:48 by JourneyLucky
[考研] 南京大学化学376求调剂 +3 hisfailed 2026-03-19 6/300 2026-03-20 23:43 by hisfailed
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 0856调剂，是学校就去 +8 sllhht 2026-03-19 9/450 2026-03-20 14:25 by 无懈可击111
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭