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老农木

新虫 (小有名气)

[求助] 电子束光刻显影不成功 已有1人参与

求助一下,我做电子束光刻器件,光刻胶用PMMA,因为材料是机械剥离的光刻完会出现开裂,现在把显影液换成纯IPA,做曝光剂量测试时器件总是有一部分显影不出来,有虫虫遇到过这个问题吗

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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老农木

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-02-07 15:38:16
显影液是IPA?????

是的,用的纯 IPA

发自小木虫Android客户端
4楼2021-02-08 09:01:03
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查看全部 6 个回答

椒盐牛肉里

铜虫 (著名写手)

加速电压?线条宽度?曝光计量?
2楼2021-01-27 14:05:01
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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

3楼2021-02-07 15:38:16
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)

5楼2021-04-08 22:52:01
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