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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 跨学科应用 » 电子束光刻显影不成功
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老农木

新虫 (小有名气)

[求助] 电子束光刻显影不成功 已有1人参与

求助一下，我做电子束光刻器件，光刻胶用PMMA,因为材料是机械剥离的光刻完会出现开裂，现在把显影液换成纯IPA,做曝光剂量测试时器件总是有一部分显影不出来，有虫虫遇到过这个问题吗

[ 发自手机版 https://muchong.com/3g ]
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1楼 2021-01-08 00:45:10
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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-02-07 15:38:16
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椒盐牛肉里

铜虫 (著名写手)
加速电压？线条宽度？曝光计量？
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2楼2021-01-27 14:05:01
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老农木

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 酸菜鱼jie at 2021-02-07 15:38:16
显影液是IPA？？？？？

是的，用的纯 IPA

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4楼2021-02-08 09:01:03
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xiangan315

至尊木虫 (文坛精英)
建议可以试一下MIBK

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5楼2021-04-08 22:52:01
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