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电子束光刻显影不成功 已有1人参与
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求助一下，我做电子束光刻器件，光刻胶用PMMA,因为材料是机械剥离的光刻完会出现开裂，现在把显影液换成纯IPA,做曝光剂量测试时器件总是有一部分显影不出来，有虫虫遇到过这个问题吗 [ 发自手机版 https://muchong.com/3g ] |
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2楼2021-01-27 14:05:01
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3楼2021-02-07 15:38:16
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xiangan315
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6楼2021-07-22 11:04:45