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Silya

新虫 (小有名气)

[求助] Su-8 紫外光刻已有1人参与

厚度70μm，
问题1旋涂过程中总有小泡；
问题2前烘中从65℃到95℃，硅片一直待在基底上还是，65°C完成后，移出，待95℃再放上去；
问题3曝光剂量指的是在哪一波长下的；
问题4在曝光后放在加热板的一瞬间，光刻胶出现褶皱，什么原因导致的；
问题5 最终70μm的胶只出来了10μm左右的坑，原因是因为过度曝光加基底衍射吗
感谢各路神仙不吝赐教

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1楼2020-12-19 16:50:30
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Silya

新虫 (小有名气)
1

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2楼2020-12-24 15:11:14
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tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

问题1：厚度较厚，滴胶不均匀或者胶中有杂质都有可能造成。
问题2：从65度放上去，等到95度拿出。不过一般光刻胶前烘都是恒定温度和时间的，你这种方式比较少见。
问题3：这个去问光刻胶厂家。
问题4：结合问题1你先确认下胶有没有问题，而且光刻胶中间有气泡的话肯定一加热就裂了。
问题5：70um只被曝掉10um的话，应该是曝光时间不够，基底衍射一般会残留一些，但你这残留的也太多了。

先检查下胶吧，确定没问题再一步步改善，多咨询光刻胶厂家，厂家一般会有固定参数。
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3楼2020-12-24 16:10:20
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mycro
4楼2021-01-28 10:25:37
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