| 查看: 1222 | 回复: 3 | |||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者Silya将赠送您 20 个金币 | |||
[求助]
Su-8 紫外光刻 已有1人参与
|
|||
|
厚度70μm， 问题1旋涂过程中总有小泡； 问题2前烘中从65℃到95℃，硅片一直待在基底上还是，65°C完成后，移出，待95℃再放上去； 问题3曝光剂量指的是在哪一波长下的； 问题4在曝光后放在加热板的一瞬间，光刻胶出现褶皱，什么原因导致的； 问题5 最终70μm的胶只出来了10μm左右的坑，原因是因为过度曝光加基底衍射吗 感谢各路神仙不吝赐教 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有2人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有178人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
2楼2020-12-24 15:11:14
tt66tt55
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 29
- 帖子: 16
- 在线: 2.4小时
- 虫号: 21928551
- 注册: 2020-04-20
- 性别: GG
- 专业: 原子和分子物理
3楼2020-12-24 16:10:20
 |
4楼2021-01-28 10:25:37
