应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » Su-8 紫外光刻
41/1返回列表
查看: 1225  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者Silya将赠送您 20 个金币

Silya

新虫 (小有名气)

[求助] Su-8 紫外光刻 已有1人参与

厚度70μm，
问题1旋涂过程中总有小泡；
问题2前烘中从65℃到95℃，硅片一直待在基底上还是，65°C完成后，移出，待95℃再放上去；
问题3曝光剂量指的是在哪一波长下的；
问题4在曝光后放在加热板的一瞬间，光刻胶出现褶皱，什么原因导致的；
问题5 最终70μm的胶只出来了10μm左右的坑，原因是因为过度曝光加基底衍射吗
感谢各路神仙不吝赐教

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-12-19 16:50:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Silya

新虫 (小有名气)
1

发自小木虫Android客户端
2楼2020-12-24 15:11:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tt66tt55

捐助贵宾 (初入文坛)

【答案】应助回帖

问题1：厚度较厚，滴胶不均匀或者胶中有杂质都有可能造成。
问题2：从65度放上去，等到95度拿出。不过一般光刻胶前烘都是恒定温度和时间的，你这种方式比较少见。
问题3：这个去问光刻胶厂家。
问题4：结合问题1你先确认下胶有没有问题，而且光刻胶中间有气泡的话肯定一加热就裂了。
问题5：70um只被曝掉10um的话，应该是曝光时间不够，基底衍射一般会残留一些，但你这残留的也太多了。

先检查下胶吧，确定没问题再一步步改善，多咨询光刻胶厂家，厂家一般会有固定参数。
赞一下 回复此楼
3楼2020-12-24 16:10:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mycro
4楼2021-01-28 10:25:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Silya 的主题更新
41/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 301求调剂 +5 Liyouyumairs 2026-03-11 5/250 2026-03-11 20:43 by ms629
[考研] 接受26届调剂生 +22 猪猪猪毛 2026-03-06 23/1150 2026-03-11 14:55 by Lly031128
[考研] 420求调剂 +3 莫向外求11 2026-03-10 3/150 2026-03-11 05:03 by 暖阳芬芳
[考研] 298求调剂 +3 Vv呀！ 2026-03-10 3/150 2026-03-10 22:40 by 剑诗杜康
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-08 7/350 2026-03-10 18:25 by 清风月
[考研] 332材料求调剂 +6 zjy101327 2026-03-05 8/400 2026-03-10 17:55 by zjy101327
[考研] 08工科 +5 li李乐成 2026-03-06 5/250 2026-03-10 14:51 by 在风落中
[考研] 材料专硕调剂 +7 慕辰123 2026-03-05 10/500 2026-03-10 14:22 by peike
[考研] 数二英二309分请求调剂 +3 dtdxzxx 2026-03-09 4/200 2026-03-09 19:56 by yuningshan
[考研] 293一志愿华东理工 0817化学工程与技术 调剂 +5 fjj0912 2026-03-07 5/250 2026-03-09 09:13 by 30660438
[考研] 0856材料与化工290求调剂 +7 Nebulala 2026-03-08 8/400 2026-03-09 05:25 by houyaoxu
[考研] 0701-322 求调剂 +3 jiliuxian 2026-03-06 8/400 2026-03-08 19:31 by jiliuxian
[考研] 286求调剂 +12 Faune 2026-03-06 14/700 2026-03-08 14:54 by hmn_wj
[考研] 085701环境工程专业，初试305，均过国家A区线 +7 卡卡来了@ 2026-03-07 8/400 2026-03-08 06:40 by 刘兵
[考研] 材料化工求调剂 +7 博斯特525 2026-03-06 8/400 2026-03-08 03:51 by lfhuang
[考研] 322分 085600求调剂，有互联网+国金及主持省级大创经历 +4 熊境喆 2026-03-05 4/200 2026-03-07 22:04 by 星空星月
[考研] 化学290求调剂 +3 两颗 西柚 2026-03-07 4/200 2026-03-07 20:55 by macy2011
[考研] 第一志愿上海大学，专业化学工程与技术，总分288，求调剂 +3 1829197082 2026-03-07 3/150 2026-03-07 19:14 by houyaoxu
[考研] 一志愿武汉理工085601，初试301分，请问能调剂到湖北吗 +3 肖yang 2026-03-06 3/150 2026-03-07 19:08 by ms629
[考研] 材料专硕323求调剂 +5 李白26 2026-03-07 5/250 2026-03-07 16:46 by njzyff
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭