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苏州研材微纳科技有限公司

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光刻胶，硅片，各种衬底，特殊耗材，委托加工

江苏省苏州市工业园区若水路398号中科院苏州纳米所B705

联系人: 徐佳裕 / 邮箱: xujy@rdmicro.com / QQ: 154733475 / 电话: 0512-68636965 / 手机: 13776045471

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研材-jiali

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按类型来分：
1.常用薄胶有S1800系列，HTI 751......不同的型号对应的不同厚度范围和分辨率，厚度从0.5um到5um，分辨率从0.5um到1um。适用于各类接触式光刻机，stepper，稳定性好，广泛应用于半导体制造。

2.常用厚胶如SU-8 2000，3000系列是负性环氧类光刻胶，具有高深宽比，光刻后可达到非常好的陡直度。畅销款正性厚胶SPR220，厚度范围1-30um，分辨率1um，有良好的黏附性，可用作电镀工艺，广泛应用于MEMS和Bump工艺。畅销款负性厚胶HTG910，可用作电镀工艺。

3.Lift off光刻胶常用的是ROL-7133和LOR系列，LOR用于双层胶工艺中的底层胶。

4.还有各种电子束光刻胶，具有极佳的分辨率。HSQ XR-1541-006厚度范围85nm-180nm，分辨率可达6nm。进口、国产PMMA有很多不同的分子量，对应不同分辨率，纵宽比；适用于双层工艺。

5.此外还有彩色光刻胶，光固化胶，干膜等~不同的工艺应用对应不同的型号，欢迎大家前来咨询~我会给各位推荐适合的光刻胶，价格惊喜，品质优良！

苏州研材微纳科技有限公司
Suzhou Research Materials Microtech Co., Ltd
Tel: 0512-68636965
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Email: xujy@rdmicro.com
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合作单位友情链接：
中科院苏州纳米所http://www.sinano.cas.cn/
中科院微电子所http://www.ime.ac.cn/
苏州美图半导体http://www.memstools.cn/

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1楼2020-12-18 16:58:28

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materyang

★
研材-jiali(金币+1): 谢谢参与

84楼2022-07-21 19:52:46