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yongmei6106

新虫 (小有名气)

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[交流] 【请教】硅片进行预处理时温度为多少？

用酒精和丙酮处理硅片后，再用硫酸和双氧水加热时温度应为多少？接着用氨水和双氧水加热时温度又为多少？

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1楼 2009-07-25 09:50:24

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liuth

木虫 (正式写手)

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ufoer(金币+5,VIP+0):3x 7-27 08:14

　单晶硅的表面处理及修饰
将硅片切割成约0. 5 cm ×0. 5 cm 的方片, 然后按如下步骤处理:
(1) 依次在甲苯、丙酮、超纯水中超声清洗2m in, 再用超纯水清洗;
(2) 在P iranha 溶液(98 % H2SO 4 与30 % H2O 2 体积比为4∶1) 中80 ℃处理10m in, 用超纯水清
洗;
(3) 在49 % HF∶40 % NH4F 体积比为1∶7 溶液中腐蚀90 s, 其中超声60 s, 用超纯水清洗;
(4) 在NH3·H2O ∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中80℃处理15m in, 用超纯水清洗;
(5) 在HCl∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中85 ℃处理10m in, 用超纯水充分清洗, 高纯氮气
吹干[ 4 ].