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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【请教】硅片进行预处理时温度为多少？
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yongmei6106

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】硅片进行预处理时温度为多少？

用酒精和丙酮处理硅片后，再用硫酸和双氧水加热时温度应为多少？接着用氨水和双氧水加热时温度又为多少？
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1楼 2009-07-25 09:50:24
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yongmei6106

新虫 (小有名气)
还有时间是多长？
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2楼2009-07-25 09:51:47
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enquan123

金虫 (著名写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
闪闪红心(金币+1,VIP+0):谢谢交流 7-25 12:46
要看你用来干什么吧，做衬底的话直接丙酮乙醇超声清洗就行啦吧
赞一下(11人) 回复此楼
No matter what I do,I always forget to forget you...
3楼2009-07-25 12:29:47
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
这个查查文献就行了。硅片的预处理已经不是问题了。
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2009-07-25 16:29:31
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liuth

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
ufoer(金币+5,VIP+0):3x 7-27 08:14
　单晶硅的表面处理及修饰
将硅片切割成约0. 5 cm ×0. 5 cm 的方片, 然后按如下步骤处理:
(1) 依次在甲苯、丙酮、超纯水中超声清洗2m in, 再用超纯水清洗;
(2) 在P iranha 溶液(98 % H2SO 4 与30 % H2O 2 体积比为4∶1) 中80 ℃处理10m in, 用超纯水清
洗;
(3) 在49 % HF∶40 % NH4F 体积比为1∶7 溶液中腐蚀90 s, 其中超声60 s, 用超纯水清洗;
(4) 在NH3·H2O ∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中80℃处理15m in, 用超纯水清洗;
(5) 在HCl∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中85 ℃处理10m in, 用超纯水充分清洗, 高纯氮气
吹干[ 4 ].
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寡聚噻吩，传感，Two-photon，SquaraineDye，Porphyrin
5楼2009-07-25 17:57:05
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liuth

木虫 (正式写手)
参见河北师范大学学报(自然科学版)
原子级平整硅基底的制备
吴育飞1, 　胡瑞省2
摘　要: 采用RCA 方法与P iranha 溶液处理相结合, 对单晶硅表面超声腐蚀处理, 接触角、原子力显微镜
(A FM ) 表征结果显示获得了平整高羟基密度的氧化物表面. 采用水相硅烷化, 将32氨基丙基2三甲氧基硅烷
(A PS) 组装在湿化学法处理的单晶硅表面上,A FM 和X2射线光电子能谱(XPS) 研究表明得到了平整均匀的
氨基自组装膜.
关键词: 硅基底; 制备; 自组装
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寡聚噻吩，传感，Two-photon，SquaraineDye，Porphyrin
6楼2009-07-25 17:58:01
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