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yongmei6106新虫 (小有名气)
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【请教】硅片进行预处理时温度为多少？
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| 用酒精和丙酮处理硅片后，再用硫酸和双氧水加热时温度应为多少？接着用氨水和双氧水加热时温度又为多少？ |
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yongmei6106
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2楼2009-07-25 09:51:47
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qfw_68
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liuth
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单晶硅的表面处理及修饰 将硅片切割成约0. 5 cm ×0. 5 cm 的方片, 然后按如下步骤处理: (1) 依次在甲苯、丙酮、超纯水中超声清洗2m in, 再用超纯水清洗; (2) 在P iranha 溶液(98 % H2SO 4 与30 % H2O 2 体积比为4∶1) 中80 ℃处理10m in, 用超纯水清 洗; (3) 在49 % HF∶40 % NH4F 体积比为1∶7 溶液中腐蚀90 s, 其中超声60 s, 用超纯水清洗; (4) 在NH3·H2O ∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中80℃处理15m in, 用超纯水清洗; (5) 在HCl∶H2O 2∶H2O 体积比为1∶1∶6 溶液中85 ℃处理10m in, 用超纯水充分清洗, 高纯氮气 吹干[ 4 ]. |
5楼2009-07-25 17:57:05
liuth
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