应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片刻蚀倒金字塔
51/1返回列表
查看: 1522  |  回复: 24
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 khj1205 的 137 个金币 ，回帖就立即获得 1 个金币，每人有 1 次机会
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

khj1205

新虫 (小有名气)

[交流] 硅片刻蚀倒金字塔

想在硅片上刻蚀倒金字塔微结构，要用硅片还是表面带一层氧化硅的？如果有参数就更好了 谢谢~
回复此楼

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼2020-09-29 20:50:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

逐步成长

新虫 (初入文坛)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
是不是做的硅V槽啊
赞一下 回复此楼
16楼2020-11-19 10:44:39
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 25 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
一般用LPCVD沉积氮化硅的硅片，氮化硅厚度100nm以上一般都没有问题。可以找研材微纳买，一般都有现货。
硅片的晶向是100的，阻值选中等的，比如1~10Ωcm。最好选好一点儿的衬底，晶向相对更准确的。
赞一下 回复此楼
10楼2020-09-30 16:18:36
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

czcdxmc

木虫 (正式写手)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
sio做掩膜，

发自小木虫Android客户端
回复此楼
12楼2020-10-01 12:07:02
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
云在青天11楼
2020-09-30 16:22   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
wonderfulll3楼
2020-09-29 21:08   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
ｖ 发自小木虫IOS客户端
LifePursuit9楼
2020-09-30 09:43   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
嗯 发自小木虫Android客户端
dsctg2楼
2020-09-29 21:01   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
' 发自小木虫Android客户端
dsctg7楼
2020-09-30 08:37   回复  
查看全部 25 个回答
提示: 如果您在30分钟内回复过其他散金贴，则可能无法领取此贴金币
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭