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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片刻蚀倒金字塔
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khj1205

新虫 (小有名气)

[交流] 硅片刻蚀倒金字塔

想在硅片上刻蚀倒金字塔微结构，要用硅片还是表面带一层氧化硅的？如果有参数就更好了 谢谢~
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1楼 2020-09-29 20:50:38
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逐步成长

新虫 (初入文坛)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
是不是做的硅V槽啊
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16楼2020-11-19 10:44:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
一般用LPCVD沉积氮化硅的硅片，氮化硅厚度100nm以上一般都没有问题。可以找研材微纳买，一般都有现货。
硅片的晶向是100的，阻值选中等的，比如1~10Ωcm。最好选好一点儿的衬底，晶向相对更准确的。
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10楼2020-09-30 16:18:36
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czcdxmc

木虫 (正式写手)
★
khj1205(金币+1): 谢谢参与
sio做掩膜，

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12楼2020-10-01 12:07:02
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云在青天11楼
2020-09-30 16:22   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
wonderfulll3楼
2020-09-29 21:08   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
ｖ 发自小木虫IOS客户端
LifePursuit9楼
2020-09-30 09:43   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
嗯 发自小木虫Android客户端
dsctg2楼
2020-09-29 21:01   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
' 发自小木虫Android客户端
dsctg7楼
2020-09-30 08:37   回复  
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