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khj1205

新虫 (小有名气)


[交流] 硅片刻蚀倒金字塔

想在硅片上刻蚀倒金字塔微结构,要用硅片还是表面带一层氧化硅的?如果有参数就更好了 谢谢~
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khj1205(金币+1): 谢谢参与
一般用LPCVD沉积氮化硅的硅片,氮化硅厚度100nm以上一般都没有问题。可以找研材微纳买,一般都有现货。
硅片的晶向是100的,阻值选中等的,比如1~10Ωcm。最好选好一点儿的衬底,晶向相对更准确的。
10楼2020-09-30 16:18:36
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czcdxmc

木虫 (正式写手)



khj1205(金币+1): 谢谢参与
12楼2020-10-01 12:07:02
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逐步成长

新虫 (初入文坛)



khj1205(金币+1): 谢谢参与
是不是做的硅V槽啊
16楼2020-11-19 10:44:39
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简单回复
dsctg2楼
2020-09-29 21:01   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
' 发自小木虫Android客户端
2020-09-29 21:08   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
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tzynew4楼
2020-09-29 21:58   回复  
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2020-09-29 22:00   回复  
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dsctg7楼
2020-09-30 08:37   回复  
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khj1205(金币+1): 谢谢参与
2020-09-30 09:43   回复  
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2020-09-30 16:22   回复  
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nono200913楼
2020-10-03 00:08   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
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gter_wang14楼
2020-10-03 16:09   回复  
khj1205(金币+1): 谢谢参与
2020-10-04 23:11   回复  
zzhello17楼
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