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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺，可以进行可以做以下的周期结构吗？
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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 光刻工艺，可以进行可以做以下的周期结构吗？

我现在的思路是，先在基底光刻刻蚀周期性的金，然后沉积SiO2，这样的话基底和金上都有了SiO2。最后将沉积在金上的SiO2刻蚀掉，但是这么做可能会使金的表面不光滑，或者SiO2和金的交界处有缺陷，两种材料的厚度不一致。请问前辈们有什么建议吗？

光刻工艺，可以进行可以做以下的周期结构吗？
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1楼 2020-09-01 08:12:30
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babyoflion

金虫 (著名写手)
为什么把你的内容都屏蔽了？

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6楼2020-09-01 15:48:26
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专业MEMS

新虫 (初入文坛)
先长氧化硅，然后刻蚀，再溅射金，最后光刻腐蚀氧化硅上的金，会不会比较好控制一些

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wmzt
2楼2020-09-01 08:42:33
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wmzt

新虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 专业MEMS at 2020-09-01 08:42:33
先长氧化硅，然后刻蚀，再溅射金，最后光刻腐蚀氧化硅上的金，会不会比较好控制一些

最近才开始接触光刻，老师说这种方法可能会有缺陷
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3楼2020-09-01 09:03:12
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babyoflion

金虫 (著名写手)
都一样，这个多介的表面是个大难题

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wmzt
4楼2020-09-01 09:04:47
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