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光刻工艺，可以进行可以做以下的周期结构吗？
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我现在的思路是，先在基底光刻刻蚀周期性的金，然后沉积SiO2，这样的话基底和金上都有了SiO2。最后将沉积在金上的SiO2刻蚀掉，但是这么做可能会使金的表面不光滑，或者SiO2和金的交界处有缺陷，两种材料的厚度不一致。请问前辈们有什么建议吗？ 图片1.png@wulishi8@dut_ameng@dut_ameng@yswyx@神魔流转@nowitzki_ci@nowitzki_ci@xiejf |
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wmzt2楼2020-09-01 08:42:33
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babyoflion
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