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wmzt

新虫 (正式写手)

[求助] 光刻工艺,可以进行可以做以下的周期结构吗?

我现在的思路是,先在基底光刻刻蚀周期性的金,然后沉积SiO2,这样的话基底和金上都有了SiO2。最后将沉积在金上的SiO2刻蚀掉,但是这么做可能会使金的表面不光滑,或者SiO2和金的交界处有缺陷,两种材料的厚度不一致。请问前辈们有什么建议吗?

光刻工艺,可以进行可以做以下的周期结构吗?
图片1.png@wulishi8@dut_ameng@dut_ameng@yswyx@神魔流转@nowitzki_ci@nowitzki_ci@xiejf
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专业MEMS

新虫 (初入文坛)

先长氧化硅,然后刻蚀,再溅射金,最后光刻腐蚀氧化硅上的金,会不会比较好控制一些

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2楼2020-09-01 08:42:33
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wmzt

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 专业MEMS at 2020-09-01 08:42:33
先长氧化硅,然后刻蚀,再溅射金,最后光刻腐蚀氧化硅上的金,会不会比较好控制一些

最近才开始接触光刻,老师说这种方法可能会有缺陷
3楼2020-09-01 09:03:12
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babyoflion

金虫 (著名写手)

都一样,这个多介的表面是个大难题

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4楼2020-09-01 09:04:47
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wmzt

新虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2020-09-01 09:04:47
都一样,这个多介的表面是个大难题

有什么建议吗,这位前辈
5楼2020-09-01 09:05:36
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babyoflion

金虫 (著名写手)

为什么把你的内容都屏蔽了?

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6楼2020-09-01 15:48:26
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