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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积制备氧化物薄膜
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kaypu

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 原子层沉积制备氧化物薄膜

我主要用原子层沉积（ALD）制备氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长样品氧化铝粗糙度0.3nm，但是氧化铪，氧化锆的有2nm，可能是什么原因？可以点我头像具体技术交流，谢谢
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1楼2020-08-06 17:33:15
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www1

银虫 (著名写手)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
估计是镀的时候金属源的粒子太粗

发自小木虫Android客户端
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17楼2020-08-22 11:29:05
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

匿名

用户注销 (小有名气)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
本帖仅楼主可见
赞一下
2楼2020-08-06 18:39:26
 已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

duji128207

禁虫 (小有名气)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
9楼2020-08-07 09:37:15
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danghaha

新虫 (文坛精英)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
祝顺利

发自小木虫IOS客户端
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10楼2020-08-07 10:54:09
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nono20095楼
2020-08-06 19:00   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
zhaoyan19786楼
2020-08-06 20:22   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
q1q9w24楼
2020-08-06 18:46   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫IOS客户端
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