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[交流]
原子层沉积制备氧化物薄膜
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| 我主要用原子层沉积(ALD)制备氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长样品氧化铝粗糙度0.3nm,但是氧化铪,氧化锆的有2nm,可能是什么原因?可以点我头像具体技术交流,谢谢 |
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薄膜材料和器件制备 |
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2楼2020-08-06 18:39:26
duji128207
禁虫 (小有名气)
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
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9楼2020-08-07 09:37:15
10楼2020-08-07 10:54:09
12楼2020-08-08 21:02:26
17楼2020-08-22 11:29:05
19楼2020-08-28 17:23:26
简单回复
tzynew3楼
2020-08-06 18:43
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
q1q9w24楼
2020-08-06 18:46
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nono20095楼
2020-08-06 19:00
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
2020-08-06 20:22
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2020-08-06 21:48
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
tnbgkp8楼
2020-08-07 09:10
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guanlianwu11楼
2020-08-08 20:01
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panpanleilei13楼
2020-08-11 08:16
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苏州华博14楼
2020-08-11 15:11
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云在青天15楼
2020-08-11 15:32
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pyxc2016楼
2020-08-17 20:46
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pyxc2018楼
2020-08-23 07:41
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