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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 原子层沉积制备氧化物薄膜
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kaypu

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 原子层沉积制备氧化物薄膜

我主要用原子层沉积（ALD）制备氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长样品氧化铝粗糙度0.3nm，但是氧化铪，氧化锆的有2nm，可能是什么原因？可以点我头像具体技术交流，谢谢
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1楼 2020-08-06 17:33:15
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匿名

用户注销 (小有名气)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
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2楼2020-08-06 18:39:26
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duji128207

禁虫 (小有名气)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
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9楼2020-08-07 09:37:15
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danghaha

新虫 (文坛精英)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
祝顺利

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10楼2020-08-07 10:54:09
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bsese

至尊木虫 (文坛精英)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
祝好！！祝好运连连！！

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12楼2020-08-08 21:02:26
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www1

银虫 (著名写手)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
估计是镀的时候金属源的粒子太粗

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17楼2020-08-22 11:29:05
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wzxjtu

新虫 (初入文坛)
★
kaypu(金币+1): 谢谢参与
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19楼2020-08-28 17:23:26
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tzynew3楼
2020-08-06 18:43   回复  
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q1q9w24楼
2020-08-06 18:46   回复  
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nono20095楼
2020-08-06 19:00   回复  
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zhaoyan19786楼
2020-08-06 20:22   回复  
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xiaoqiuqiu207楼
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tnbgkp8楼
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云在青天15楼
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pyxc2016楼
2020-08-17 20:46   回复  
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pyxc2018楼
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