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[交流]
原子层沉积制备氧化物薄膜
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| 我主要用原子层沉积（ALD）制备氧化物，比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛；最近在给一家公司做技术服务的时候，发现生长样品氧化铝粗糙度0.3nm，但是氧化铪，氧化锆的有2nm，可能是什么原因？可以点我头像具体技术交流，谢谢 |
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 薄膜材料和器件制备 |
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10楼2020-08-07 10:54:09
2楼2020-08-06 18:39:26
duji128207
禁虫 (小有名气)
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
kaypu(金币+1): 谢谢参与
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本帖内容被屏蔽 |
9楼2020-08-07 09:37:15
祝好！！祝好运连连！！12楼2020-08-08 21:02:26
简单回复
nono20095楼
2020-08-06 19:00
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kaypu(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
2020-08-06 20:22
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q1q9w24楼
2020-08-06 18:46
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