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kaypu

铁杆木虫 (小有名气)


[交流] 原子层沉积制备氧化物薄膜

我主要用原子层沉积(ALD)制备氧化物,比如氧化铝、氧化铪、氧化锆、氧化钛、氮化钛;最近在给一家公司做技术服务的时候,发现生长样品氧化铝粗糙度0.3nm,但是氧化铪,氧化锆的有2nm,可能是什么原因?可以点我头像具体技术交流,谢谢
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danghaha

新虫 (文坛精英)



kaypu(金币+1): 谢谢参与
10楼2020-08-07 10:54:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 19 个回答

匿名

用户注销 (小有名气)



kaypu(金币+1): 谢谢参与
本帖仅楼主可见
2楼2020-08-06 18:39:26
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duji128207

禁虫 (小有名气)


kaypu(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

9楼2020-08-07 09:37:15
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bsese

至尊木虫 (文坛精英)



kaypu(金币+1): 谢谢参与
祝好!!祝好运连连!!

发自小木虫Android客户端
12楼2020-08-08 21:02:26
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nono20095楼
2020-08-06 19:00   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
2020-08-06 20:22   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
发自小木虫Android客户端
q1q9w24楼
2020-08-06 18:46   回复  
kaypu(金币+1): 谢谢参与
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