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磁控溅射硅基铝膜退火有黑点，求去除黑点办法 已有1人参与
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| 磁控溅射在硅基上镀铝膜，400度氮气环境退火后，总是有黑点析出，怀疑黑点是硅，有什么办法可以去除或者避免黑点吗？镀厚点也会有析出 |
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