应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料综合 » yswyx » 磁控溅射硅基铝膜退火有黑点，求去除黑点办法
61/1返回列表
查看: 1694  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者云如白玉将赠送您 5 个金币

云如白玉

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射硅基铝膜退火有黑点，求去除黑点办法 已有1人参与

磁控溅射在硅基上镀铝膜，400度氮气环境退火后，总是有黑点析出，怀疑黑点是硅，有什么办法可以去除或者避免黑点吗？镀厚点也会有析出
回复此楼

» 猜你喜欢
相互学习
1楼 2020-07-16 11:11:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L小懒虫

木虫 (著名写手)
确定不是生成了氮化铝？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2020-07-20 06:48:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

400°C的话，应该是硅，因为退火时硅会融到铝里，冷却的时候就析出。一般的做法是在铝和硅之间加阻挡层，但是如果你要做的是欧姆接触，就需要特殊的低欧姆接触阻挡层，比如钛或者氮化钛之类的。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2020-07-20 15:42:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

云如白玉

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by L小懒虫 at 2020-07-20 06:48:43
确定不是生成了氮化铝？

400度还不会生成氮化铝吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
相互学习
4楼2020-07-21 23:20:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

云如白玉

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2020-07-20 15:42:58
400°C的话，应该是硅，因为退火时硅会融到铝里，冷却的时候就析出。一般的做法是在铝和硅之间加阻挡层，但是如果你要做的是欧姆接触，就需要特殊的低欧姆接触阻挡层，比如钛或者氮化钛之类的。

这个阻挡层如何做呀？铝已经镀在硅上了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
相互学习
5楼2020-07-21 23:22:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

草稿箱

金虫 (知名作家)

半导体小王子
EDS 分析一下呗    再请问下，你们可以在铝片上可以 溅射多晶硅层吗？，
赞一下 回复此楼
2019关键字:工作步入正轨！
6楼2020-10-30 11:21:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 云如白玉 的主题更新
61/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 oko5baaf5j 2026-06-05 6/300 2026-06-07 05:25 by rcch43i39g
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 3/150 2026-06-07 05:20 by rcch43i39g
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 4/200 2026-06-07 05:11 by rcch43i39g
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 c8fjyc45my 2026-06-05 6/300 2026-06-07 05:05 by rcch43i39g
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 6/300 2026-06-07 04:44 by rcch43i39g
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 7/350 2026-06-07 04:40 by rcch43i39g
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 c8fjyc45my 2026-06-05 5/250 2026-06-07 04:31 by rcch43i39g
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 6/300 2026-06-07 04:24 by rcch43i39g
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 7/350 2026-06-07 04:20 by rcch43i39g
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 5/250 2026-06-07 04:20 by rcch43i39g
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 c8fjyc45my 2026-06-05 4/200 2026-06-07 04:11 by rcch43i39g
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 c8fjyc45my 2026-06-05 4/200 2026-06-07 03:51 by rcch43i39g
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 t7ptwec48b 2026-06-05 6/300 2026-06-07 03:45 by rcch43i39g
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 c8fjyc45my 2026-06-05 6/300 2026-06-07 00:11 by rcch43i39g
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 3/150 2026-06-06 21:43 by rcch43i39g
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 c8fjyc45my 2026-06-05 4/200 2026-06-06 14:19 by pb2dsewnaf
[论文投稿] 关于水星近日点进动成因的质疑 与实证分析 +4 yjqwhwc3159 2026-06-04 9/450 2026-06-04 23:41 by yjqwhwc3159
[文学芳草园] 婚姻里的赢家 +3 myrtle 2026-06-02 6/300 2026-06-04 23:17 by myrtle
[基金申请] 祈祷自己至少3A2B上会啊！ +7 苏周儒隽 2026-06-02 7/350 2026-06-04 11:49 by jurkat.1640
[基金申请] 山东省优青 青B通知了？？？？ +3 jerry681 2026-06-02 3/150 2026-06-02 15:56 by sdtawz1
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭