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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料综合 » yswyx » 磁控溅射硅基铝膜退火有黑点，求去除黑点办法
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云如白玉

银虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射硅基铝膜退火有黑点，求去除黑点办法 已有1人参与

磁控溅射在硅基上镀铝膜，400度氮气环境退火后，总是有黑点析出，怀疑黑点是硅，有什么办法可以去除或者避免黑点吗？镀厚点也会有析出
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相互学习
1楼 2020-07-16 11:11:57
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L小懒虫

木虫 (著名写手)
确定不是生成了氮化铝？

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2楼2020-07-20 06:48:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

400°C的话，应该是硅，因为退火时硅会融到铝里，冷却的时候就析出。一般的做法是在铝和硅之间加阻挡层，但是如果你要做的是欧姆接触，就需要特殊的低欧姆接触阻挡层，比如钛或者氮化钛之类的。
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3楼2020-07-20 15:42:58
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云如白玉

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by L小懒虫 at 2020-07-20 06:48:43
确定不是生成了氮化铝？

400度还不会生成氮化铝吧

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相互学习
4楼2020-07-21 23:20:29
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云如白玉

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2020-07-20 15:42:58
400°C的话，应该是硅，因为退火时硅会融到铝里，冷却的时候就析出。一般的做法是在铝和硅之间加阻挡层，但是如果你要做的是欧姆接触，就需要特殊的低欧姆接触阻挡层，比如钛或者氮化钛之类的。

这个阻挡层如何做呀？铝已经镀在硅上了

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相互学习
5楼2020-07-21 23:22:51
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草稿箱

金虫 (知名作家)

半导体小王子
EDS 分析一下呗    再请问下，你们可以在铝片上可以 溅射多晶硅层吗？，
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2019关键字:工作步入正轨！
6楼2020-10-30 11:21:58
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