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18326157769

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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注册: 2017-09-08
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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常已有1人参与

MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常，求大佬能解释一下可能是什么原因引起的吗？

@fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone 发自小木虫Android客户端

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1楼 2020-07-04 19:37:55

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

小米0锅巴

木虫 (正式写手)

应助: 5 (幼儿园)
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性别: GG
专业: 半导体材料

温度，时间是否有变化？

2楼2020-07-06 13:05:55

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

专家经验: +651
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
管辖: 微米和纳米

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

问题描述的太简单了。你的铝下面是什么？氧化硅？氮化硅？铝膜的应力是怎样的？

3楼2020-07-07 12:44:40

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