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18326157769

新虫 (初入文坛)

[求助] MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常 已有1人参与

MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常,求大佬能解释一下可能是什么原因引起的吗?

@fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone 发自小木虫Android客户端
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)

温度,时间是否有变化?
2楼2020-07-06 13:05:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
问题描述的太简单了。你的铝下面是什么?氧化硅?氮化硅?铝膜的应力是怎样的?
3楼2020-07-07 12:44:40
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