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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 工艺技术 » yswyx » MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常
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18326157769

新虫 (初入文坛)

[求助] MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常 已有1人参与

MEMS工艺经过HF熏蒸后铝翘起异常，求大佬能解释一下可能是什么原因引起的吗？

@fzm1108 @小_包子 @xiaofan700 @caominone 发自小木虫Android客户端
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1楼 2020-07-04 19:37:55
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小米0锅巴

木虫 (正式写手)
温度，时间是否有变化？
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2楼2020-07-06 13:05:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
问题描述的太简单了。你的铝下面是什么？氧化硅？氮化硅？铝膜的应力是怎样的？
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3楼2020-07-07 12:44:40
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