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捣铃儿

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 104
在线: 64.5小时
虫号: 3127878
注册: 2014-04-11
专业: 高分子合成化学

[求助] 磷酸溶液掺杂更容易抛光的原因

在掺杂硅片过程中，发现三氯氧磷气相沉积，热处理后不容易在碱性条件下正面抛光，而磷酸旋涂沉积后，经过热处理，在碱性条件下很容易正面抛光。碱性条件为氢氧化钾溶液

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1楼 2020-06-16 08:22:03

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生化试剂

禁虫 (正式写手)

本帖内容被屏蔽

2楼2020-06-16 15:01:52

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