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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 性能应用 » 磷酸溶液掺杂更容易抛光的原因
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捣铃儿

新虫 (小有名气)

[求助] 磷酸溶液掺杂更容易抛光的原因

在掺杂硅片过程中，发现三氯氧磷气相沉积，热处理后不容易在碱性条件下正面抛光，而磷酸旋涂沉积后，经过热处理，在碱性条件下很容易正面抛光。碱性条件为氢氧化钾溶液
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1楼2020-06-16 08:22:03
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生化试剂

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
2楼2020-06-16 15:01:52
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