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磷酸溶液掺杂更容易抛光的原因
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| 在掺杂硅片过程中，发现三氯氧磷气相沉积，热处理后不容易在碱性条件下正面抛光，而磷酸旋涂沉积后，经过热处理，在碱性条件下很容易正面抛光。碱性条件为氢氧化钾溶液 |
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2楼2020-06-16 15:01:52