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南方科技大学公共卫生及应急管理学院2026级博士研究生招生报考通知(长期有效)
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tanxingyi2

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜引电极问题

各位大虾,小弟最近做薄膜,但不知道怎么引电极,请问各位大虾怎么引电极,是焊接的还是用镀膜工艺镀上的,如果是镀上的能否告诉工艺以及电极材料!金币不够小弟可以再加!
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木子小木虫

荣誉版主 (知名作家)

优秀版主

★ ★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 8-17 09:41
tanxingyi2(金币+1,VIP+0):xiexie 8-18 18:14
如果是在Si基片上生长薄膜的话,上电极可以利用掩膜板采用真空镀膜生长Pt、Ag或Au电极,下电极将基片打磨后生长Al下电极可以形成良好的欧姆接触,采用竖直测量,结果与材料的真实性能较符合。
论文投稿区欢迎您!
15楼2009-08-17 09:18:49
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):再问一下,焊接的话半导体与导体之间是否都是欧姆接触? 7-12 15:13
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
加一个电极掩膜用电子镀(或磁控溅射)在表面再镀一层金属(Au等)。如果没有掩膜就找一个硬的板子自己刻上电极形状的孔与样品夹紧再在上面镀电极。

如果你是测试霍尔效应的话直接焊接就行了,因为半导体与导体之间有个欧姆接触问题。
2楼2009-07-12 10:46:42
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



tanxingyi2(金币+1,VIP+0):谢谢建议 7-12 15:10
什么薄膜,做电极为什么?
这些必须先搞清楚,才能回答你的问题,
不同的金属有不同的功函数,导致金半接触势不同。
3楼2009-07-12 13:32:54
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qzhang6568

木虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):谢谢!非常感谢! 7-12 15:09
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
如果是铁电薄膜镀电极的话,我是用磁控溅射的,有个带孔的模板,电极一般为Pt或Au。
4楼2009-07-12 14:50:20
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