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tanxingyi2

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜引电极问题

各位大虾,小弟最近做薄膜,但不知道怎么引电极,请问各位大虾怎么引电极,是焊接的还是用镀膜工艺镀上的,如果是镀上的能否告诉工艺以及电极材料!金币不够小弟可以再加!
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半导体技术 实验问题

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qzhang6568

木虫 (著名写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):谢谢!非常感谢! 7-12 15:09
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
如果是铁电薄膜镀电极的话,我是用磁控溅射的,有个带孔的模板,电极一般为Pt或Au。
4楼2009-07-12 14:50:20
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查看全部 15 个回答

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):再问一下,焊接的话半导体与导体之间是否都是欧姆接触? 7-12 15:13
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
加一个电极掩膜用电子镀(或磁控溅射)在表面再镀一层金属(Au等)。如果没有掩膜就找一个硬的板子自己刻上电极形状的孔与样品夹紧再在上面镀电极。

如果你是测试霍尔效应的话直接焊接就行了,因为半导体与导体之间有个欧姆接触问题。
2楼2009-07-12 10:46:42
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



tanxingyi2(金币+1,VIP+0):谢谢建议 7-12 15:10
什么薄膜,做电极为什么?
这些必须先搞清楚,才能回答你的问题,
不同的金属有不同的功函数,导致金半接触势不同。
3楼2009-07-12 13:32:54
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wxyuer

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
tanxingyi2(金币+4,VIP+0):银胶粘的电极一般都不规整,这对霍尔效应有影响吗? 7-12 22:40
银胶直接粘接电极可能是一种最简单方法,如果样品没有特殊要求的话
5楼2009-07-12 15:25:42
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