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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】薄膜引电极问题
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tanxingyi2

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】薄膜引电极问题

各位大虾，小弟最近做薄膜，但不知道怎么引电极，请问各位大虾怎么引电极，是焊接的还是用镀膜工艺镀上的，如果是镀上的能否告诉工艺以及电极材料！金币不够小弟可以再加！
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1楼 2009-07-12 10:23:11
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):再问一下，焊接的话半导体与导体之间是否都是欧姆接触？ 7-12 15:13
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
加一个电极掩膜用电子镀（或磁控溅射）在表面再镀一层金属（Au等）。如果没有掩膜就找一个硬的板子自己刻上电极形状的孔与样品夹紧再在上面镀电极。

如果你是测试霍尔效应的话直接焊接就行了，因为半导体与导体之间有个欧姆接触问题。
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2楼2009-07-12 10:46:42
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
tanxingyi2(金币+1,VIP+0):谢谢建议 7-12 15:10
什么薄膜，做电极为什么？
这些必须先搞清楚，才能回答你的问题，
不同的金属有不同的功函数，导致金半接触势不同。
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3楼2009-07-12 13:32:54
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qzhang6568

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
tanxingyi2(金币+5,VIP+0):谢谢！非常感谢！ 7-12 15:09
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
如果是铁电薄膜镀电极的话，我是用磁控溅射的，有个带孔的模板，电极一般为Pt或Au。
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4楼2009-07-12 14:50:20
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wxyuer

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-12 20:44
tanxingyi2(金币+4,VIP+0):银胶粘的电极一般都不规整，这对霍尔效应有影响吗？ 7-12 22:40
银胶直接粘接电极可能是一种最简单方法，如果样品没有特殊要求的话
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5楼2009-07-12 15:25:42
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loveagen

★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流，欢迎常来常来物理版：）
tanxingyi2(金币+3,VIP+0):谢谢 7-20 01:03
我们一般是先用Ar溅射金电极，然后再用银胶把引线粘在金电极上，这样的话接触会比较好。不过也要看你做什么用，也可能不用加引线的，直接蒸金就可以了
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6楼2009-07-13 15:20:41
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流，欢迎常来常来物理版：）
tanxingyi2(金币+3,VIP+0):谢谢 7-20 01:04
可以使用真空镀膜，磁控溅射需要有掩膜板而且长完要真空200°c退火20分钟保证欧姆接触；霍尔测量可以直接点铟电极也要欧姆接触的
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
7楼2009-07-13 15:37:18
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六198

金虫 (正式写手)
★
zt970831(金币+1):感谢您的交流，欢迎常来常来物理版：）
银胶直接粘接电极可能是一种最简单方法，如果样品没有特殊要求的话，呵呵
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穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
8楼2009-07-17 15:27:40
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+4):感谢您的交流，欢迎常来常来物理版：）
tanxingyi2(金币+4,VIP+0):谢谢 7-20 01:04
看你的薄膜是什么材料。如果是半导体得选择合适的欧姆接触电极。有的简单（只镀单层的Ag、Au，或直接点In等），有的复杂（需做多层膜）。有掩膜最好，没掩膜时，简单的用铝箔根据需要扎上几个小圆孔把样品包起来也可做点接触电极的掩膜（但镀电极温度需低于铝的熔点660℃）。
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没有困难创造困难也要上网。
9楼2009-07-17 16:23:41
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙
还有，有些时候镀完电极需进行热退火处理才能形成欧姆接触。
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没有困难创造困难也要上网。
10楼2009-07-17 16:26:21
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