应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8光刻胶显影后表面密密麻麻的黑斑
51/1返回列表
查看: 3892  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

Andre_W

银虫 (小有名气)

[交流] SU8光刻胶显影后表面密密麻麻的黑斑 已有4人参与

MEMS，我们是做Pancake工艺，旋涂完SU8光阻液旋涂25um厚度后90度10min，然后110度30分，曝光能量给到140mj/cm2，曝后60度20min，PGMEA显影6分钟，显微镜下观察密密麻麻黑斑（确认为表面过刻蚀形成的坑），想问下老大们，怎么消除这些黑斑（坑）。

发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
爱一个人，攀一座山，追一个梦
1楼 2020-05-24 20:29:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18681127092

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我做剥离液和显影液的

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
6楼2020-09-13 10:02:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

hitsz_li

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
supernatural: 金币-2, 帖子里不允许留下联系方式，已编辑掉 2020-05-27 12:53:37
可以排除法去分析：首先看一下是那个步骤中产生的黑点？涂胶？烘烤后？显影后？
其次，分析一下有可能是污染还是气泡？
25um厚胶有几点需要注意：①判断有没有稀释过？取胶有没有引入气体？有没有可能引入污染？②胶很厚，前烘不要用烘箱，一定要用热板，一定要烘透，否则残存的溶剂会形成气泡；③光刻胶有没有过期？过期的胶曝光后会有含n气体逸出
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

Andre_W
2楼2020-05-25 17:00:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Andre_W

银虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by hitsz_li at 2020-05-25 17:00:40
可以排除法去分析：首先看一下是那个步骤中产生的黑点？涂胶？烘烤后？显影后？
其次，分析一下有可能是污染还是气泡？
25um厚胶有几点需要注意：①判断有没有稀释过？取胶有没有引入气体？有没有可能引入污染？② ...

谢谢

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
爱一个人，攀一座山，追一个梦
3楼2020-05-25 20:13:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Andre_W

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by hitsz_li at 2020-05-25 17:00:40
可以排除法去分析：首先看一下是那个步骤中产生的黑点？涂胶？烘烤后？显影后？
其次，分析一下有可能是污染还是气泡？
25um厚胶有几点需要注意：①判断有没有稀释过？取胶有没有引入气体？有没有可能引入污染？② ...

1.显影以后发现的，表面是个坑状黑点；2.前烘我们没有气体，我们只有烤箱，非热板（现在是110度30分钟，是不是需要加长时间）3.显影我们使用的PGMEA和异丙醇；不太像是脏污，膜的表面没有只有结构层的空穴处有这个黑点

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
爱一个人，攀一座山，追一个梦
4楼2020-05-25 21:40:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 max7zaruFVS8 2026-10-06 3/150 2026-10-07 16:51 by kUQbiRsIeOpF
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 z1aZaKkVi71s 2026-10-06 3/150 2026-10-07 16:09 by kUQbiRsIeOpF
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 z1aZaKkVi71s 2026-10-06 3/150 2026-10-07 15:41 by kUQbiRsIeOpF
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 z1aZaKkVi71s 2026-10-05 3/150 2026-10-07 15:07 by kUQbiRsIeOpF
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 z1aZaKkVi71s 2026-10-05 3/150 2026-10-07 14:49 by kUQbiRsIeOpF
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 z1aZaKkVi71s 2026-10-05 3/150 2026-10-07 14:49 by kUQbiRsIeOpF
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 9/450 2026-10-07 11:21 by EXuX9l7TjjIY
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 8/400 2026-10-07 11:11 by EXuX9l7TjjIY
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 9/450 2026-10-07 11:07 by EXuX9l7TjjIY
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 8/400 2026-10-07 11:01 by EXuX9l7TjjIY
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 10/500 2026-10-07 10:49 by EXuX9l7TjjIY
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-04 9/450 2026-10-07 10:11 by EXuX9l7TjjIY
[博后之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 FUSxPqiIHRjH 2026-10-04 11/550 2026-10-07 09:51 by EXuX9l7TjjIY
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 FUSxPqiIHRjH 2026-10-04 12/600 2026-10-07 09:49 by EXuX9l7TjjIY
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 FUSxPqiIHRjH 2026-10-04 12/600 2026-10-07 09:49 by EXuX9l7TjjIY
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 FUSxPqiIHRjH 2026-10-04 9/450 2026-10-06 14:28 by x7yLzftaCUEL
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 FUSxPqiIHRjH 2026-10-04 12/600 2026-10-06 14:26 by x7yLzftaCUEL
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 FlhJF7cq3uT3 2026-10-05 4/200 2026-10-06 05:08 by z1aZaKkVi71s
[教师之家] 烦躁 +5 水冰月月野兔 2026-10-03 5/250 2026-10-05 21:59 by 火星超人xi
[教师之家] 寻找合作团队 +4 悠悠2003 2026-10-01 4/200 2026-10-04 15:18 by Zh_fish
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭