应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » AZ4620遇到回流不成型
71/1返回列表
查看: 2068  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kehanqing

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620遇到回流不成型 已有1人参与

AZ4620在光刻后，
1，显影不稳定，偶尔可以，偶尔不行，厚度22-26um，较小形貌显影丢失。等问题。
2，回流成球，遇到两边凸起，中间凹陷。光刻胶形貌直径大小700um圆形。用过热版，用过烤箱。曾经出现过成型！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-04-13 09:18:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stellaintl

新虫 (小有名气)
有调查过是否和热板工艺有关？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

kehanqing
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
2楼2020-04-13 16:54:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kehanqing

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by stellaintl at 2020-04-13 16:54:40
有调查过是否和热板工艺有关？

能详细说说吗？昨天回流有平顶

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2020-04-14 01:50:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfg0915

铁虫 (初入文坛)
上照片看看呢
回复此楼
4楼2020-04-14 08:11:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注意的是，回流这种工艺，想精确的控制形貌是很难的，某些时候需要专用设备，这要看你具体的形貌了。
赞一下 回复此楼
5楼2020-04-16 16:28:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Lefadian

新虫 (小有名气)
你好，请问这个曲率半径可以做到多大？
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2022-04-12 08:56:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Lefadian

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-16 16:28:26
直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注 ...

你好，想请问下，大直径和小直径具体的回流工艺应该有和差异啊？可以指导下吗？目前也碰到这个问题，边缘突起，中间塌陷的问题
赞一下 回复此楼
7楼2022-04-12 08:58:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kehanqing 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +4 简单化xn 2026-08-22 8/400 2026-08-23 07:20 by ilovexiaobin
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 10/500 2026-08-23 07:17 by OEbVnUOu01ol
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 04:04 by OEbVnUOu01ol
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 7/350 2026-08-23 03:55 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 03:40 by OEbVnUOu01ol
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 00:55 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 zjuhero 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] 什么时候开奖？ +7 CrisMessi 2026-08-18 8/400 2026-08-22 18:29 by 淀粉搬运工
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24 yaoyewhu2008 2026-08-20 26/1300 2026-08-22 17:43 by kammury
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 人气不行了 +8 fansofjerry 2026-08-21 8/400 2026-08-22 16:30 by zyqchem
[基金申请] 科研孤儿太难了 +17 我4大白菜 2026-08-20 18/900 2026-08-21 20:57 by zhangev
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7 angus9576 2026-08-17 12/600 2026-08-21 13:38 by weiyin
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭