应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » AZ4620遇到回流不成型
71/1返回列表
查看: 2168  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kehanqing

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620遇到回流不成型 已有1人参与

AZ4620在光刻后，
1，显影不稳定，偶尔可以，偶尔不行，厚度22-26um，较小形貌显影丢失。等问题。
2，回流成球，遇到两边凸起，中间凹陷。光刻胶形貌直径大小700um圆形。用过热版，用过烤箱。曾经出现过成型！

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2020-04-13 09:18:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stellaintl

新虫 (小有名气)
有调查过是否和热板工艺有关？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

kehanqing
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
2楼2020-04-13 16:54:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kehanqing

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by stellaintl at 2020-04-13 16:54:40
有调查过是否和热板工艺有关？

能详细说说吗？昨天回流有平顶

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
3楼2020-04-14 01:50:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wfg0915

铁虫 (初入文坛)
上照片看看呢
回复此楼
4楼2020-04-14 08:11:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注意的是，回流这种工艺，想精确的控制形貌是很难的，某些时候需要专用设备，这要看你具体的形貌了。
赞一下 回复此楼
5楼2020-04-16 16:28:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Lefadian

新虫 (小有名气)
你好，请问这个曲率半径可以做到多大？
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2022-04-12 08:56:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Lefadian

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-16 16:28:26
直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注 ...

你好，想请问下，大直径和小直径具体的回流工艺应该有和差异啊？可以指导下吗？目前也碰到这个问题，边缘突起，中间塌陷的问题
赞一下 回复此楼
7楼2022-04-12 08:58:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kehanqing 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-10-03 09:46 by Equinoxhua
[教师之家] 寻找合作团队 +3 悠悠2003 2026-10-01 3/150 2026-10-03 09:08 by flfgenius
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-10-01 21:59 by Equinoxhua
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-10-01 21:07 by Equinoxhua
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 8/400 2026-10-01 19:08 by Equinoxhua
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-10-01 09:23 by Equinoxhua
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:26 by Z9YWQ5EAO3qp
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-29 19:27 by cqwQDCxMcL3I
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:03 by etmYJ6d2rquH
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 15:46 by etmYJ6d2rquH
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 4/200 2026-09-29 15:15 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:58 by etmYJ6d2rquH
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:41 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:30 by etmYJ6d2rquH
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 4/200 2026-09-29 09:49 by JzYBbHIXWSrW
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:12 by b8fCuTHqckEt
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭