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kehanqing

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620遇到回流不成型 已有1人参与

AZ4620在光刻后,
1,显影不稳定,偶尔可以,偶尔不行,厚度22-26um,较小形貌显影丢失。等问题。
2,回流成球,遇到两边凸起,中间凹陷。光刻胶形貌直径大小700um圆形。用过热版,用过烤箱。曾经出现过成型!

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stellaintl

新虫 (小有名气)

有调查过是否和热板工艺有关?

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» 本帖已获得的红花(最新10朵)

4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
2楼2020-04-13 16:54:40
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kehanqing

新虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by stellaintl at 2020-04-13 16:54:40
有调查过是否和热板工艺有关?

能详细说说吗?昨天回流有平顶

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3楼2020-04-14 01:50:21
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wfg0915

铁虫 (初入文坛)

上照片看看呢
4楼2020-04-14 08:11:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

直径这么大,你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题,你可以咨询研材微纳的技术部门,专门负责解决工艺问题的,你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注意的是,回流这种工艺,想精确的控制形貌是很难的,某些时候需要专用设备,这要看你具体的形貌了。
5楼2020-04-16 16:28:26
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Lefadian

新虫 (小有名气)

你好,请问这个曲率半径可以做到多大?
6楼2022-04-12 08:56:14
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Lefadian

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-16 16:28:26
直径这么大,你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题,你可以咨询研材微纳的技术部门,专门负责解决工艺问题的,你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注 ...

你好,想请问下,大直径和小直径具体的回流工艺应该有和差异啊?可以指导下吗?目前也碰到这个问题,边缘突起,中间塌陷的问题
7楼2022-04-12 08:58:17
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