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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » AZ4620遇到回流不成型
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kehanqing

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ4620遇到回流不成型 已有1人参与

AZ4620在光刻后，
1，显影不稳定，偶尔可以，偶尔不行，厚度22-26um，较小形貌显影丢失。等问题。
2，回流成球，遇到两边凸起，中间凹陷。光刻胶形貌直径大小700um圆形。用过热版，用过烤箱。曾经出现过成型！

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1楼 2020-04-13 09:18:13
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Lefadian

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2020-04-16 16:28:26
直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注 ...

你好，想请问下，大直径和小直径具体的回流工艺应该有和差异啊？可以指导下吗？目前也碰到这个问题，边缘突起，中间塌陷的问题
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7楼2022-04-12 08:58:17
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stellaintl

新虫 (小有名气)
有调查过是否和热板工艺有关？

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

kehanqing
4Pico激光直写致力于高精度的微纳米结构的加工
2楼2020-04-13 16:54:40
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kehanqing

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by stellaintl at 2020-04-13 16:54:40
有调查过是否和热板工艺有关？

能详细说说吗？昨天回流有平顶

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3楼2020-04-14 01:50:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

直径这么大，你那个中间凹陷是外界的风引起的。大直径的和小直径的回流方法是不同的。
至于4620的显影问题，你可以咨询研材微纳的技术部门，专门负责解决工艺问题的，你这些都是常见问题。回流她们也做过。
需要注意的是，回流这种工艺，想精确的控制形貌是很难的，某些时候需要专用设备，这要看你具体的形貌了。
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5楼2020-04-16 16:28:26
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