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xunzhai

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】请教光刻技术问题

请问大家,目前的光刻技术精度可以达到多少?还有都可以在哪些衬底上进行光刻处理?

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-6-22 at 21:33 ]
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珠帘蜂

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用抛光的硅片,紫外光刻,参数控制得好点的话可以制备出宽度为1~2微米的细线。我以前刻过宽度为1.5微米深度为200nm的微槽。
知识就是力量,热爱学习。
7楼2009-06-23 09:43:34
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dgf2008

主管区长 (知名作家)

不要鄙视看帖不回的人!!

优秀区长

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 6-22 21:33
百人计划,千人计划,万人计划,百千万人才计划
2楼2009-06-22 21:10:00
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memser

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
wdwsnnu(金币+1,VIP+0): 6-22 21:33
问题不好回答,设备不同精度不同。光刻和衬底有啥关系呢,光刻是光刻光刻胶,玻璃、硅片、陶瓷基板都可以~~~
3楼2009-06-22 21:11:23
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dsc516

铁杆木虫 (正式写手)

★ ★
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memser(金币+1,VIP+0):3x 6-23 08:40
可以光刻光刻胶,机体可以是玻璃、硅片、陶瓷、不锈钢等。
我师兄就是用不锈钢的。但用了想再重复,不好处理干净。
我行而上学.无论爱情有多么远,我已心坦然!
4楼2009-06-22 21:39:58
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