24小时热门版块排行榜    

查看: 1087  |  回复: 8
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xunzhai

金虫 (正式写手)

[交流] 【请教】请教光刻技术问题

请问大家,目前的光刻技术精度可以达到多少?还有都可以在哪些衬底上进行光刻处理?

[ Last edited by wdwsnnu on 2009-6-22 at 21:33 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

光子晶体相关

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

珠帘蜂

木虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
用抛光的硅片,紫外光刻,参数控制得好点的话可以制备出宽度为1~2微米的细线。我以前刻过宽度为1.5微米深度为200nm的微槽。
知识就是力量,热爱学习。
7楼2009-06-23 09:43:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xunzhai 的主题更新
普通表情 高级回复(可上传附件)
信息提示
请填处理意见