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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】离子溅射法 镀金属膜

请问哪位有离子溅射镀膜的经验啊,帮忙啊

这里有镀膜机器,利用氩气做保护气,

镀金的时候很顺利:压强 10 Pa 左右,高压约1400V,效果很好。

但是镀钛 镀铝时就不一样了,根本就镀不上

尝试加大电压,样品(玻璃片)略有变色,但是根本就不导电

请教高手 我该怎么做啊
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
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qjun675

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
有没有调下压强试试呢??
努力
2楼2009-07-17 12:02:39
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

压强调低很难启辉

没有调高过  

调高的话 离子流在电压很低时就会很大,恐怕不行吧
B_or_not_2_B,_it's_a_?
3楼2009-07-18 12:47:41
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ly_km

新虫 (初入文坛)

快毕业了

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
真空度保持在1.5X10-2 Pa 左右,高压约3000V,试一下,Au的溅射产额高,Ti的就低很多,设备允许的话尽量增加溅射时间,可能间断的2个小时应该可以了。
4楼2009-07-20 22:08:55
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xiongbijun

金虫 (小有名气)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
这是磁控溅射镀么?对于不导电的物体镀钛效果不是很好,如果能在工件下面搞一个偏压就好了,比如在玻璃背部贴一层铝箔,然后加50多伏的直流偏压
人之所以痛苦,是因为在追求错误的东西
5楼2009-08-05 08:53:45
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yupo54

新虫 (小有名气)

要么是没镀上,要么是镀上少量被氧化了
6楼2009-08-05 21:12:51
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chunjili

银虫 (小有名气)

离子溅射镀膜  是什么啊  谢谢
7楼2009-10-19 20:56:04
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flypig200346

金虫 (小有名气)

估计是压强过高,离子能量低


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
增加能量可以提高靶的功率密度,提高真空度可以增加自有程,减少碰撞能量损失
努力工作,天天向上,好好学习。
8楼2009-10-22 15:48:41
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ycheng0330

木虫 (小有名气)

建议改变下压强试试
9楼2009-10-26 17:10:52
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