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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【请教】离子溅射法 镀金属膜
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】离子溅射法 镀金属膜

请问哪位有离子溅射镀膜的经验啊，帮忙啊

这里有镀膜机器，利用氩气做保护气，

镀金的时候很顺利:压强 10 Pa 左右，高压约1400V，效果很好。

但是镀钛 镀铝时就不一样了，根本就镀不上

尝试加大电压，样品（玻璃片）略有变色，但是根本就不导电

请教高手 我该怎么做啊
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
1楼 2009-06-19 20:10:22
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qjun675

银虫 (正式写手)
★
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有没有调下压强试试呢？？
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努力
2楼2009-07-17 12:02:39
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)
压强调低很难启辉

没有调高过  

调高的话 离子流在电压很低时就会很大，恐怕不行吧
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
3楼2009-07-18 12:47:41
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ly_km

新虫 (初入文坛)

快毕业了

★ ★
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yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
真空度保持在1.5X10-2 Pa 左右，高压约3000V，试一下，Au的溅射产额高，Ti的就低很多，设备允许的话尽量增加溅射时间，可能间断的2个小时应该可以了。
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4楼2009-07-20 22:08:55
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xiongbijun

金虫 (小有名气)
★ ★
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yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
这是磁控溅射镀么？对于不导电的物体镀钛效果不是很好，如果能在工件下面搞一个偏压就好了，比如在玻璃背部贴一层铝箔，然后加50多伏的直流偏压
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人之所以痛苦，是因为在追求错误的东西
5楼2009-08-05 08:53:45
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yupo54

新虫 (小有名气)
要么是没镀上，要么是镀上少量被氧化了
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6楼2009-08-05 21:12:51
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chunjili

银虫 (小有名气)
离子溅射镀膜  是什么啊  谢谢
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7楼2009-10-19 20:56:04
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flypig200346

金虫 (小有名气)

估计是压强过高，离子能量低

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
增加能量可以提高靶的功率密度，提高真空度可以增加自有程，减少碰撞能量损失
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努力工作，天天向上，好好学习。
8楼2009-10-22 15:48:41
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ycheng0330

木虫 (小有名气)
建议改变下压强试试
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9楼2009-10-26 17:10:52
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