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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【请教】离子溅射法 镀金属膜
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】离子溅射法 镀金属膜

请问哪位有离子溅射镀膜的经验啊，帮忙啊

这里有镀膜机器，利用氩气做保护气，

镀金的时候很顺利:压强 10 Pa 左右，高压约1400V，效果很好。

但是镀钛 镀铝时就不一样了，根本就镀不上

尝试加大电压，样品（玻璃片）略有变色，但是根本就不导电

请教高手 我该怎么做啊
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
1楼 2009-06-19 20:10:22
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chunjili

银虫 (小有名气)
离子溅射镀膜  是什么啊  谢谢
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7楼2009-10-19 20:56:04
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qjun675

银虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
有没有调下压强试试呢？？
赞一下(1人) 回复此楼
努力
2楼2009-07-17 12:02:39
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)
压强调低很难启辉

没有调高过  

调高的话 离子流在电压很低时就会很大，恐怕不行吧
赞一下 回复此楼
B_or_not_2_B,_it's_a_?
3楼2009-07-18 12:47:41
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ly_km

新虫 (初入文坛)

快毕业了

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
真空度保持在1.5X10-2 Pa 左右，高压约3000V，试一下，Au的溅射产额高，Ti的就低很多，设备允许的话尽量增加溅射时间，可能间断的2个小时应该可以了。
赞一下(11人) 回复此楼
4楼2009-07-20 22:08:55
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