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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】离子溅射法 镀金属膜

请问哪位有离子溅射镀膜的经验啊,帮忙啊

这里有镀膜机器,利用氩气做保护气,

镀金的时候很顺利:压强 10 Pa 左右,高压约1400V,效果很好。

但是镀钛 镀铝时就不一样了,根本就镀不上

尝试加大电压,样品(玻璃片)略有变色,但是根本就不导电

请教高手 我该怎么做啊
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
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ycheng0330

木虫 (小有名气)

建议改变下压强试试
9楼2009-10-26 17:10:52
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qjun675

银虫 (正式写手)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
有没有调下压强试试呢??
努力
2楼2009-07-17 12:02:39
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

压强调低很难启辉

没有调高过  

调高的话 离子流在电压很低时就会很大,恐怕不行吧
B_or_not_2_B,_it's_a_?
3楼2009-07-18 12:47:41
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ly_km

新虫 (初入文坛)

快毕业了

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1,VIP+0):欢迎讨论~ 10-20 07:38
真空度保持在1.5X10-2 Pa 左右,高压约3000V,试一下,Au的溅射产额高,Ti的就低很多,设备允许的话尽量增加溅射时间,可能间断的2个小时应该可以了。
4楼2009-07-20 22:08:55
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