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jihongzhao

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】 如何用XRD测薄膜应力

用XRD可以测薄膜应力吗?  具体怎么测量。请知道的虫友们多多帮忙!非常感谢
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踏踏实实做事脚踏实地做人
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逍遥豹

铁虫 (小有名气)


小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
我也期待高手的讲解
难道用耦合扫描不行吗?一定要用掠入射吗?
3楼2009-11-16 15:28:15
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yhw9102

木虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
洛阳学子(金币+2,VIP+0):多谢交流 6-16 21:34
用XRD测应力的时候要选个高theta角的峰,然后变换至少4~5个角度去扫描那个峰,而测薄膜呢 又需要掠入射角
这两个是矛盾的 应该不行
至少我了解的帕那科的衍射仪上行不通啊
2楼2009-06-16 20:36:01
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