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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 粉末晶体 » 【求助】 如何用XRD测薄膜应力
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jihongzhao

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】 如何用XRD测薄膜应力

用XRD可以测薄膜应力吗？  具体怎么测量。请知道的虫友们多多帮忙！非常感谢
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踏踏实实做事脚踏实地做人
1楼 2009-06-15 10:41:38
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yhw9102

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
洛阳学子(金币+2,VIP+0):多谢交流 6-16 21:34
用XRD测应力的时候要选个高theta角的峰，然后变换至少4～5个角度去扫描那个峰，而测薄膜呢 又需要掠入射角
这两个是矛盾的 应该不行
至少我了解的帕那科的衍射仪上行不通啊
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2楼2009-06-16 20:36:01
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逍遥豹

铁虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也期待高手的讲解
难道用耦合扫描不行吗？一定要用掠入射吗？
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2009-11-16 15:28:15
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