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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 寻求有限的ITO腐蚀液
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牛6241149

新虫 (初入文坛)

[求助] 寻求有限的ITO腐蚀液 已有3人参与

本人新手，目前在做ITO玻璃的刻蚀，所用光刻胶是AZ1400,之前所用的刻蚀液是硝酸和盐酸配比:HCL:H2O:HNO3=50:50:3.但无论显影与否，所有ITO都会和腐蚀液反应，导致ITO的阻值发生了大幅度的变化，现在正在寻求成品且有效的ITO刻蚀液，非常感谢！

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1楼 2020-01-05 17:36:10
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以尝试盐酸和水按6:4配比，进行刻蚀
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2楼2020-01-05 18:30:22
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
无论显影如何你都腐蚀，这说明你光刻胶根本就没起到保护的作用，你换哪个腐蚀液你也得首先解决这个问题啊
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6楼2020-01-06 10:50:52
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普通回帖

MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
这个有专门ITO腐蚀液，效果很好

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3楼2020-01-05 21:15:29
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牛6241149

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by songcumt at 2020-01-05 18:30:22
可以尝试盐酸和水按6:4配比，进行刻蚀

好的，非常感谢，我会去试一下的，想问您一下硝酸一般起到的是什么作用呢？

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4楼2020-01-05 22:57:30
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 牛6241149 at 2020-01-05 22:57:30
好的，非常感谢，我会去试一下的，想问您一下硝酸一般起到的是什么作用呢？
...

起到增强刻蚀的作用
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5楼2020-01-06 08:08:40
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牛6241149

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by songcumt at 2020-01-06 08:08:40
起到增强刻蚀的作用...

好的，谢谢

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7楼2020-01-06 11:19:54
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牛6241149

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by babyoflion at 2020-01-06 10:50:52
无论显影如何你都腐蚀，这说明你光刻胶根本就没起到保护的作用，你换哪个腐蚀液你也得首先解决这个问题啊

非常感谢您的关心，您的意思是要更换一种起到保护作用的光刻胶吗？因为我的显影是订做的，自己没办法做，我所能做的只有腐蚀

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8楼2020-01-06 11:27:26
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 牛6241149 at 2020-01-06 11:27:26
非常感谢您的关心，您的意思是要更换一种起到保护作用的光刻胶吗？因为我的显影是订做的，自己没办法做，我所能做的只有腐蚀
...

这个光刻胶不是应该起到保护作用，然后刻蚀掉你们不需要的地方，而且不能刻蚀时间太长，不然保护的那部分也会被刻蚀掉了
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9楼2020-01-06 12:29:17
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liushui21

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

说明的你酸性过强或者紫外光线过强，正常情况下，你需要做到是只有uv光部分被刻蚀，其他不被刻蚀。
影响刻蚀ito的因素，温度、时间、酸性。
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10楼2020-04-27 10:15:16
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