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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 寻求有限的ITO腐蚀液
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牛6241149

新虫 (初入文坛)

[求助] 寻求有限的ITO腐蚀液 已有3人参与

本人新手，目前在做ITO玻璃的刻蚀，所用光刻胶是AZ1400,之前所用的刻蚀液是硝酸和盐酸配比:HCL:H2O:HNO3=50:50:3.但无论显影与否，所有ITO都会和腐蚀液反应，导致ITO的阻值发生了大幅度的变化，现在正在寻求成品且有效的ITO刻蚀液，非常感谢！

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1楼 2020-01-05 17:36:10
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
无论显影如何你都腐蚀，这说明你光刻胶根本就没起到保护的作用，你换哪个腐蚀液你也得首先解决这个问题啊
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6楼2020-01-06 10:50:52
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以尝试盐酸和水按6:4配比，进行刻蚀
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2楼2020-01-05 18:30:22
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)
这个有专门ITO腐蚀液，效果很好

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3楼2020-01-05 21:15:29
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牛6241149

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by songcumt at 2020-01-05 18:30:22
可以尝试盐酸和水按6:4配比，进行刻蚀

好的，非常感谢，我会去试一下的，想问您一下硝酸一般起到的是什么作用呢？

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4楼2020-01-05 22:57:30
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