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汕头大学海洋科学接受调剂
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牛6241149

新虫 (初入文坛)

[求助] 寻求有限的ITO腐蚀液 已有3人参与

本人新手,目前在做ITO玻璃的刻蚀,所用光刻胶是AZ1400,之前所用的刻蚀液是硝酸和盐酸配比:HCL:H2O:HNO3=50:50:3.但无论显影与否,所有ITO都会和腐蚀液反应,导致ITO的阻值发生了大幅度的变化,现在正在寻求成品且有效的ITO刻蚀液,非常感谢!

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牛6241149

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by babyoflion at 2020-01-06 10:50:52
无论显影如何你都腐蚀,这说明你光刻胶根本就没起到保护的作用,你换哪个腐蚀液你也得首先解决这个问题啊

非常感谢您的关心,您的意思是要更换一种起到保护作用的光刻胶吗?因为我的显影是订做的,自己没办法做,我所能做的只有腐蚀

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8楼2020-01-06 11:27:26
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songcumt

至尊木虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以尝试盐酸和水按6:4配比,进行刻蚀
2楼2020-01-05 18:30:22
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MEMSlee

捐助贵宾 (著名写手)


这个有专门ITO腐蚀液,效果很好

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3楼2020-01-05 21:15:29
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牛6241149

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by songcumt at 2020-01-05 18:30:22
可以尝试盐酸和水按6:4配比,进行刻蚀

好的,非常感谢,我会去试一下的,想问您一下硝酸一般起到的是什么作用呢?

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4楼2020-01-05 22:57:30
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