24小时热门版块排行榜    

查看: 493  |  回复: 2

MHWY

新虫 (正式写手)

[求助] 金属薄膜材料电阻 已有1人参与

请教一下大家,为何20nm的金属薄膜钽(Ta)的电阻那么高(四探针法测试5-10MΩ),按理说金属的电阻率很低才对啊,不知道是什么原因,请各位老师解答一下,非常感谢!

@comma 发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wrfup

新虫 (小有名气)

做厚度修正了吗 20nm是指金属厚度?太薄了
2楼2022-01-24 15:26:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

刚跟你算了一下,你的膜厚度20nm,其实我们PVD的膜层都是你的5倍以上导电性能才OK;整体感觉是你的膜层太薄了。
另外,我们生产上检测电阻>1M Ω以上就算绝缘性良好;或句话说,你这个就根本不导电。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
3楼2022-01-24 15:55:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 MHWY 的主题更新
信息提示
请填处理意见