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MHWY

新虫 (正式写手)

[求助] 金属薄膜材料电阻 已有1人参与

请教一下大家,为何20nm的金属薄膜钽(Ta)的电阻那么高(四探针法测试5-10MΩ),按理说金属的电阻率很低才对啊,不知道是什么原因,请各位老师解答一下,非常感谢!

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wrfup

新虫 (小有名气)

做厚度修正了吗 20nm是指金属厚度?太薄了
2楼2022-01-24 15:26:20
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

刚跟你算了一下,你的膜厚度20nm,其实我们PVD的膜层都是你的5倍以上导电性能才OK;整体感觉是你的膜层太薄了。
另外,我们生产上检测电阻>1M Ω以上就算绝缘性良好;或句话说,你这个就根本不导电。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
3楼2022-01-24 15:55:20
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