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MHWY

新虫 (正式写手)

[求助] 金属薄膜材料电阻 已有1人参与

请教一下大家，为何20nm的金属薄膜钽（Ta）的电阻那么高（四探针法测试5-10MΩ），按理说金属的电阻率很低才对啊，不知道是什么原因，请各位老师解答一下，非常感谢!

@comma 发自小木虫Android客户端
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1楼 2019-12-23 12:48:40
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wrfup

新虫 (小有名气)
做厚度修正了吗 20nm是指金属厚度？太薄了
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2楼2022-01-24 15:26:20
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

刚跟你算了一下，你的膜厚度20nm，其实我们PVD的膜层都是你的5倍以上导电性能才OK；整体感觉是你的膜层太薄了。
另外，我们生产上检测电阻＞1M Ω以上就算绝缘性良好；或句话说，你这个就根本不导电。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
3楼2022-01-24 15:55:20
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